Hãng sản xuất: Film Sensor
Ứng dụng:
+ Đo độ dày màng mỏng đơn lớp, đa lớp
+ Đo hình thái bề mặt màng mỏng ba chiều
+ Đo chiết suất màng mỏng đơn lớp, đa lớp
Công nghệ:
Máy đo độ phân cực ánh sáng Film Sense sử dụng ánh sáng phân cực để đặc trưng hóa mẫu mà không phá hủy. Trong hệ thống máy đo độ phân cực ánh sáng, nguồn phát ra ánh sáng có độ phân cực đã biết, chiếu xiên vào mẫu, và bộ phận dò đo trạng thái phân cực của ánh sáng phản xạ từ mẫu.
Sản phẩm
Multi-Wavelength Ellipsometer
|
Hệ thống đo tán sắc ánh sáng đa bước sóng Film Sense thế hệ thứ 4 hiện đã có mặt trên thị trường, với nhiều bước sóng hơn và phạm vi quang phổ rộng hơn. |
Automated Mapping Systems
|
Thiết bị FS-RT300 kết hợp máy đo độ dày màng đa bước sóng FS-8 với bàn đo tự động nhỏ gọn để cung cấp các phép đo độ đồng nhất độ dày màng nhanh chóng, chính xác và đáng tin cậy trên toàn bộ tấm wafer. |
In Situ Monitoring |
Máy đo độ phân cực ánh sáng đa bước sóng Film Sense lý tưởng cho việc giám sát và điều khiển thời gian thực tại chỗ các quá trình lắng đọng và khắc màng mỏng. |